製品案内
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洗浄エッチング装置(半導体・液晶ガラス・太陽電池・基盤)

各種薬液を使用する自動洗浄装置です。
振動、超音波洗浄、N2、バブリングなどを使用しています。
実験用から生産用まで、液温調、薬液自動交換、定量補給など豊富な選択装置を準備しております。

洗浄エッチング

半導体ウェハー洗浄装置（自動洗浄、手動洗浄）
液晶ガラス洗浄装置（自動洗浄、手動洗浄）
フィルム基板洗浄（自動送り機構）
太陽電池洗浄装置
剥離装置
基板洗浄

炉芯管洗浄装置

水洗装置

石英チューブを自動洗浄する装置です。
多目的ワークを洗浄する装置です。
精密洗浄装置

薬液供給装置

ＳＵＳ製薬液供給装置・有機洗浄装置

薬品を定量供給する装置
です。
ＳＵＳ製薬液装置・有機洗浄装置などを製作しており
ます。

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