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- 製品案内:UV応用製品 光表面改質・洗浄処理装置
固体表面の機能を高める処理技術には、薬液を用いるものからドライプロセスまで多くの工法がある。
紫外放射(以下、UVと略称する)を用いる表面処理法は、最近は光増感剤として薬液を用いるものも提案されているが、基本的には大気中で処理ができるドライプロセスであり改質と洗浄効果がある。
改質は直接的に固体表面の接着力を向上させ、洗浄は表面の軟接着層を形成する有機汚濁膜を除去する事で、間接的に接着力向上に寄与し、品質を安定化させる。
卓上型光表面処理装置


試料台を引出しても強い光洩れがありません。
照射エリア:160mm×160mm
上位機種も揃えております
照射エリア:300mm×300mm
プラスチック改質用 光改質装置

ローラーコンベアタイプとは違い、SUSネット部が移動する為、照射物をそのまま置く事や、各冶具を使用して搬送する事が可能です。
又、システムアップが容易な卓上型SUSネットコンベア-タイプのご用意も可能です。
卓上コンベア型光改質装置

バッチ型光洗浄改質装置

シンプルに構成されている為、安価版設備として多数採用されています。
オフラインの生産時や、設置スペースに制限が有る場合に最適です。
光洗浄改質用光源装置

ます。
ガラス基板洗浄用 光洗浄装置

駆動部を構造的に遮蔽する事で、よりクリーンな搬送を可能とした生産設備です。
ランプ選定は基板サイズに合わせて採用し、ランプ本数は搬送速度(生産タクト)に合わせた本数選定が可能です。
エキシマランプ光表面処理装置
172nmエキシマランプの採用。
コンパクト設計。窒素ガス対応、照射エリア150X70mm。エキシマランプ2本で対応可能
172nm短波長による微細化表面改質洗浄対応→ 短時間処理
ランプの連続ON/0肝による寿命短縮せず。平均寿命2,000h相当応への表面改質・洗浄
用途:フィルム・光学系ガラス・ウェハ・ガラス墓板等徹細対応への表面改質・洗浄
コンパクト設計。窒素ガス対応、照射エリア150X70mm。エキシマランプ2本で対応可能
172nm短波長による微細化表面改質洗浄対応→ 短時間処理
ランプの連続ON/0肝による寿命短縮せず。平均寿命2,000h相当応への表面改質・洗浄
用途:フィルム・光学系ガラス・ウェハ・ガラス墓板等徹細対応への表面改質・洗浄